罗茨真空泵在运行中,泵腔内壁和转子表面接触工艺气体,可能含有酸性成分、有机蒸气或微量水分。长期使用后,铸铁或不锈钢基材可能出现锈蚀或点蚀现象,影响泵的密封性和运行稳定性。
渗哈氏合金工艺可在泵体及转子表面形成一层哈氏合金防护层。哈氏合金材料对盐酸、硫酸、湿氯气及多种有机介质具备一定耐受能力,能减少腐蚀性介质与基材的直接接触,对点蚀和均匀腐蚀有一定缓解作用。同时,渗层表面硬度更高,对气体中微量颗粒的冲刷也有一定抵抗能力。
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